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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2015-08-15
Journal:真空科学与技能学报911sss
Included Journals:EI、PKU、CSCD、Scopus
Volume:35
Issue:8
Page Number:984-988
ISSN No.:1672-7126
Key Words:薄膜结构第一镜;H等离子体;偏压溅射;反射率
Abstract:聘用电子束挥发镀膜工艺，在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜，研制了海外热核聚变践诺堆光学会诊中工具有较高反射率薄膜第一镜.通过中频脉冲偏压措施产生氢等离子体，对薄膜第一镜在氢等离子溅射下性能及特点进行比拟分析.商议成果标明:在本践诺氢离子溅射条款下，第一镜样品名义浑浊物的千里积速率大于溅射速率，样品名义千里积了一丝的真空室内物资，通过X射线光电子能谱分析阐述金属浑浊物均为氧化物，对光谱反射率影响较小.而由于基底和膜层结构的不同，薄膜第一镜本身结构的谨慎性互异较大911sss，其中Al/SS304和O3/Al/Sio2样件施展出很好的耐等离子溅射谨慎性，不错成为第一镜的备选决策.
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